光刻版图形位置偏差检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010578151.7

申请日：

2010-12-08

公开(公告)号：

CN102540735A

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

黄玮

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101560726362 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2010105781517 申请日:20101208
2012-07-04	公开	公开
2015-12-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101725086150 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2010105781517 申请公布日:20120704

共 50 条

[1]

减小芯片埋置与光刻图形位置偏差的方法及装置 [P].

陶宇骁 ;

杨晓 ;

张成瑞 ;

周亮 .

中国专利 :CN110517961B ,2019-11-29

[2]

基板位置偏差检测装置及基板位置偏差检测方法 [P].

山冈秀嗣 ;

石冈圣悟 .

中国专利 :CN1263996C ,2004-07-07

[3]

曝光图形位置偏差的校正系统及校正方法 [P].

刘智龙 ;

贺晓彬 ;

丁明正 ;

刘强 ;

杨涛 .

中国专利 :CN114384766A ,2022-04-22

[4]

曝光图形位置偏差的校正系统及校正方法 [P].

刘智龙 ;

贺晓彬 ;

丁明正 ;

刘强 ;

杨涛 .

中国专利 :CN114384766B ,2024-06-18

[5]

双面图形位置相对偏差的测量设备 [P].

胡茂尚 ;

徐登峰 .

中国专利 :CN106370105A ,2017-02-01

[6]

双面图形位置相对偏差的测量设备 [P].

胡茂尚 ;

徐登峰 .

中国专利 :CN206095153U ,2017-04-12

[7]

位置偏差修正装置,控制位置偏差的方法,以及图像形成设备 [P].

池田博昭 .

中国专利 :CN101105667A ,2008-01-16

[8]

一种掩膜版局部图形位置偏差补偿方法 [P].

徐智俊 ;

熊启龙 .

中国专利 :CN117970754A ,2024-05-03

[9]

相机的位置偏差测定方法 [P].

川崎智纪 .

中国专利 :CN115697652A ,2023-02-03

[10]

相机的位置偏差测定方法 [P].

川崎智纪 .

日本专利 :CN115697652B ,2025-10-03

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