一种掩膜版局部图形位置偏差补偿方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410308468.0

申请日：

2024-03-18

公开(公告)号：

CN117970754A

公开(公告)日：

2024-05-03

发明(设计)人：

徐智俊熊启龙

申请人：

合肥清溢光电有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市新站区谷河路与通淮路交口东北角

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

合肥律众知识产权代理有限公司 34147

代理人：

刘吉意

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

山西省吕梁市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240318
2024-05-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种掩膜版位置精度补偿方法 [P].

徐兵 ;

熊启龙 ;

徐智俊 .

中国专利 :CN120909078A ,2025-11-07

[2]

一种掩膜版 [P].

产桂方 ;

洪耀 ;

张民井 ;

乔文健 ;

李晓波 .

中国专利 :CN222337458U ,2025-01-10

[3]

一种掩膜版用的曝光补偿装置 [P].

叶小龙 ;

王栋 .

中国专利 :CN210626879U ,2020-05-26

[4]

一种位置偏差补偿机构 [P].

李畅 ;

康少晨 ;

孙义兴 ;

侯树海 ;

曹沛 ;

梁冰 ;

范伟亮 ;

陈昊 .

中国专利 :CN215115102U ,2021-12-10

[5]

一种位置偏差补偿机构 [P].

李畅 ;

康少晨 ;

孙义兴 ;

侯树海 ;

曹沛 ;

梁冰 ;

范伟亮 ;

陈昊 .

中国专利 :CN112798228A ,2021-05-14

[6]

一种位置偏差补偿机构 [P].

李畅 ;

康少晨 ;

孙义兴 ;

侯树海 ;

曹沛 ;

梁冰 ;

范伟亮 ;

陈昊 .

中国专利 :CN112798228B ,2025-03-25

[7]

一种掩膜条的接合方法、接合装置、掩膜版 [P].

林治明 ;

李宝军 ;

王震 ;

黄俊杰 ;

唐富强 .

中国专利 :CN107201498A ,2017-09-26

[8]

掩膜框架、掩膜版及其制作方法 [P].

吴海东 ;

李彦松 ;

杜小波 .

中国专利 :CN107419219A ,2017-12-01

[9]

一种多方向位置偏差补偿的轴瓦 [P].

杨文彪 .

中国专利 :CN109780075A ,2019-05-21

[10]

一种多方向位置偏差补偿的联轴器 [P].

何亦农 .

中国专利 :CN203962716U ,2014-11-26

← 1 2 3 4 5 →