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掩膜框架、掩膜版及其制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710852394.7
申请日：
2017-09-20
公开(公告)号：
CN107419219A
公开(公告)日：
2017-12-01
发明(设计)人：
吴海东
李彦松
杜小波
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C23C1424
代理机构：
北京风雅颂专利代理有限公司 11403
代理人：
王安娜;李翔
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-12-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20170920 |
| 2017-12-01 | 公开 | 公开 |
| 2019-06-25 | 授权 | 授权 |