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一种大尺寸超薄钽酸锂晶圆片的减薄方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910354224.5
申请日：
2019-04-29
公开(公告)号：
CN110039382A
公开(公告)日：
2019-07-23
发明(设计)人：
沈浩 顾鑫怡 钱晓明
申请人：
申请人地址：
314412 浙江省嘉兴市海宁市盐官镇建设路1号
IPC主分类号：
B24B100
IPC分类号：
C30B3310 C30B2930
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-07-23 公开 公开
2019-08-16 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/00 申请日:20190429
共 50 条
[1]
一种铌酸锂/钽酸锂晶圆的减薄方法 [P]. 
万青 ;
朱一新 ;
喻志奎 ;
乐先浩 .
中国专利 :CN119566984A ,2025-03-07
[2]
一种大尺寸超薄钽酸锂晶圆再生方法 [P]. 
孔辉 ;
徐秋峰 ;
张瑞超 ;
刘栋 ;
朱昱阳 ;
王紫铭 ;
胡建 .
中国专利 :CN118571744A ,2024-08-30
[3]
一种大尺寸超薄钽酸锂晶圆的切割方法 [P]. 
徐秋峰 ;
孔辉 ;
沈浩 ;
汪万盾 ;
钱陈强 .
中国专利 :CN118650756A ,2024-09-17
[4]
钽酸锂键合晶圆的减薄方法和设备 [P]. 
庄林海 ;
归欢焕 ;
沈君尧 ;
陆斌杰 ;
徐剑锋 ;
林华夏 ;
高娇 .
中国专利 :CN120080202A ,2025-06-03
[5]
钽酸锂键合晶圆的减薄方法和设备 [P]. 
庄林海 ;
归欢焕 ;
沈君尧 ;
陆斌杰 ;
徐剑峰 ;
林华夏 ;
高娇 .
中国专利 :CN120080202B ,2025-08-22
[6]
一种大尺寸晶圆片减薄工艺 [P]. 
刘姣龙 ;
刘建伟 ;
刘园 ;
武卫 ;
由佰玲 ;
裴坤羽 ;
孙晨光 ;
王彦君 ;
祝斌 ;
常雪岩 ;
杨春雪 ;
谢艳 ;
袁祥龙 ;
张宏杰 ;
刘秒 ;
吕莹 ;
徐荣清 .
中国专利 :CN112757055B ,2021-05-07
[7]
一种大尺寸晶圆片减薄系统 [P]. 
刘姣龙 ;
刘建伟 ;
刘园 ;
武卫 ;
由佰玲 ;
裴坤羽 ;
孙晨光 ;
王彦君 ;
祝斌 ;
常雪岩 ;
杨春雪 ;
谢艳 ;
袁祥龙 ;
张宏杰 ;
刘秒 ;
吕莹 ;
徐荣清 .
中国专利 :CN214418328U ,2021-10-19
[8]
一种超薄晶圆减薄方法 [P]. 
秦飞 ;
孙敬龙 ;
安彤 ;
王仲康 ;
唐亮 .
中国专利 :CN104078345B ,2014-10-01
[9]
一种大尺寸超薄钽酸锂晶片键合方法 [P]. 
徐秋峰 ;
孔辉 ;
汪万盾 ;
钱煜 ;
张忠伟 ;
沈浩 ;
钱陈强 .
中国专利 :CN117096065B ,2024-01-30
[10]
一种晶圆片减薄装置 [P]. 
刘全益 .
中国专利 :CN218427642U ,2023-02-03
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