一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921802643.2

申请日：

2019-10-24

公开(公告)号：

CN211546715U

公开(公告)日：

2020-09-22

发明(设计)人：

关树军罗才军赵智强张伟新陈辉

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号

IPC主分类号：

C30B1514

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

郝志国

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-22	授权	授权

共 50 条

[1]

单晶硅生长用加热器及单晶硅生长装置 [P].

曾宏强 ;

关树军 ;

路建华 .

中国专利 :CN217351614U ,2022-09-02

[2]

一种直拉单晶硅用加热器 [P].

惠宝锋 ;

马元良 ;

高俊伟 ;

韩永龙 ;

高玉顺 ;

宋生宏 .

中国专利 :CN216237368U ,2022-04-08

[3]

一种直拉单晶硅炉用组合式加热器 [P].

樊乾国 ;

侯光远 ;

杨浩 ;

贾武林 .

中国专利 :CN212223146U ,2020-12-25

[4]

单晶硅生长炉加热装置 [P].

韩喆 ;

林友相 ;

李国迪 ;

蒋明霞 .

中国专利 :CN201842896U ,2011-05-25

[5]

直拉单晶炉用加热器 [P].

李侨 ;

周锐 .

中国专利 :CN202945366U ,2013-05-22

[6]

直拉单晶炉加热器 [P].

刘彬国 ;

黄旭光 ;

王玉龙 .

中国专利 :CN112626612A ,2021-04-09

[7]

一种直拉法单晶硅生长炉 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN111826709A ,2020-10-27

[8]

单晶硅加热器 [P].

马腾飞 ;

汪奇 ;

马新成 ;

李江林 ;

豆欣妍 .

中国专利 :CN208562591U ,2019-03-01

[9]

单晶硅加热器 [P].

刘学金 ;

马伟萍 ;

乔乐 ;

张鹏 ;

豆欣妍 .

中国专利 :CN212628448U ,2021-02-26

[10]

直拉单晶硅加热装置 [P].

周惠 ;

关树军 ;

洪华 ;

路建华 ;

曾宏强 .

中国专利 :CN220927021U ,2024-05-10

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