鎓盐化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011462505.1

申请日：

2020-12-11

公开(公告)号：

CN112979458A

公开(公告)日：

2021-06-18

发明(设计)人：

藤原敬之渡边朝美片山和弘

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C5968

IPC分类号：

C07C6521 C07C5966 C07C5990 C07C5141 C07C38112 C07D33374 C07C6992 C07C6976 C07C30975 C07C69757 C07D33502 C07D30700 G03F7004 H01L21027

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

鎓盐化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法 [P].

藤原敬之 ;

及川健一 ;

小林知洋 ;

福岛将大 .

中国专利 :CN113045465A ,2021-06-29

[2]

鎓盐化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法 [P].

藤原敬之 ;

及川健一 ;

小林知洋 ;

福岛将大 .

中国专利 :CN112824382A ,2021-05-21

[3]

新型盐化合物、化学增幅抗蚀剂组合物、及图案形成方法 [P].

小野绘实子 ;

提箸正义 ;

福岛将大 ;

计良祐纪 .

中国专利 :CN111187235A ,2020-05-22

[4]

新颖鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

大桥正树 ;

片山和弘 .

中国专利 :CN111440104A ,2020-07-24

[5]

化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

畠山润 ;

石桥尚树 .

日本专利 :CN117908325A ,2024-04-19

[6]

锍化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

大桥正树 ;

片山和弘 ;

计良祐纪 .

中国专利 :CN111793054A ,2020-10-20

[7]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN119490478A ,2025-02-21

[8]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN119569626A ,2025-03-07

[9]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN120504646A ,2025-08-19

[10]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

畠山润 .

日本专利 :CN118878505A ,2024-11-01

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 59/68 申请日:20201211
2021-06-18	公开	公开