化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311342291.8

申请日：

2023-10-17

公开(公告)号：

CN117908325A

公开(公告)日：

2024-04-19

发明(设计)人：

福岛将大畠山润石桥尚树

申请人：

信越化学工业株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

G03F7/00

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-19	公开	公开
2024-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/004申请日:20231017

共 50 条

[1]

新颖鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

大桥正树 ;

片山和弘 .

中国专利 :CN111440104A ,2020-07-24

[2]

化学增幅负型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

渡边聪 ;

船津显之 ;

增永惠一 ;

小竹正晃 ;

松泽雄太 .

日本专利 :CN121232533A ,2025-12-30

[3]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

渡边聪 ;

船津显之 ;

增永惠一 ;

小竹正晃 ;

松泽雄太 .

日本专利 :CN120972458A ,2025-11-18

[4]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

渡边聪 ;

船津显之 ;

增永惠一 ;

小竹正晃 ;

松泽雄太 .

日本专利 :CN120522977A ,2025-08-22

[5]

化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

渡边聪 ;

船津显之 ;

增永惠一 ;

小竹正晃 ;

松泽雄太 .

日本专利 :CN119165731A ,2024-12-20

[6]

抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

藤原敬之 ;

及川健一 ;

大桥正树 ;

小林知洋 .

日本专利 :CN111522198B ,2024-01-26

[7]

抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

藤原敬之 ;

及川健一 ;

大桥正树 ;

小林知洋 .

中国专利 :CN111522198A ,2020-08-11

[8]

鎓盐化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法 [P].

藤原敬之 ;

及川健一 ;

小林知洋 ;

福岛将大 .

中国专利 :CN113045465A ,2021-06-29

[9]

鎓盐化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法 [P].

藤原敬之 ;

渡边朝美 ;

片山和弘 .

中国专利 :CN112979458A ,2021-06-18

[10]

鎓盐化合物、化学增幅抗蚀剂组成物、以及图案形成方法 [P].

藤原敬之 ;

及川健一 ;

小林知洋 ;

福岛将大 .

中国专利 :CN112824382A ,2021-05-21

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