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抗蚀剂组成物及图案形成方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010078997.8
申请日：
2020-02-03
公开(公告)号：
CN111522198A
公开(公告)日：
2020-08-11
发明(设计)人：
藤原敬之 及川健一 大桥正树 小林知洋
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F7004
IPC分类号：
G03F700
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李茂家
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-09-04 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20200203
2020-08-11 公开 公开
共 50 条
[1]
抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
藤原敬之 ;
及川健一 ;
大桥正树 ;
小林知洋 .
日本专利 :CN111522198B ,2024-01-26
[2]
化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
福岛将大 ;
畠山润 ;
石桥尚树 .
日本专利 :CN117908325A ,2024-04-19
[3]
抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
阿达铁平 ;
山下信也 ;
大桥正树 ;
藤原敬之 .
日本专利 :CN112782934B ,2025-01-17
[4]
抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
阿达铁平 ;
小林知洋 ;
及川健一 ;
大桥正树 ;
藤原敬之 .
中国专利 :CN112782935A ,2021-05-11
[5]
抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
阿达铁平 ;
山下信也 ;
大桥正树 ;
藤原敬之 .
中国专利 :CN112782934A ,2021-05-11
[6]
抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
阿达铁平 ;
小林知洋 ;
及川健一 ;
大桥正树 ;
藤原敬之 .
日本专利 :CN112782935B ,2025-05-20
[7]
抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
大友雄太郎 ;
小林知洋 .
日本专利 :CN117539126A ,2024-02-09
[8]
抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
大桥正树 ;
片山和弘 ;
山平达也 ;
大友雄太郎 ;
大山皓介 .
日本专利 :CN118112887A ,2024-05-31
[9]
抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
大桥正树 ;
提箸正义 ;
大友雄太郎 .
日本专利 :CN120652740A ,2025-09-16
[10]
抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
林伝文 ;
筑波标 ;
须田祐贵 ;
福岛将大 .
日本专利 :CN120972455A ,2025-11-18
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