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一种硅片清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811453006.9
申请日：
2018-11-30
公开(公告)号：
CN111261493A
公开(公告)日：
2020-06-09
发明(设计)人：
程丙坤
申请人：
申请人地址：
523087 广东省东莞市南城区宏远工业区
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
郝传鑫
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-09 | 公开 | 公开 |
| 2021-08-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20181130 |