一种硅片的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711349496.3

申请日：

2017-12-15

公开(公告)号：

CN108039315A

公开(公告)日：

2018-05-15

发明(设计)人：

侯玥玥黄纪德金井升张昕宇金浩

申请人：

申请人地址：

314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王宝筠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-15	公开	公开
2018-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20171215
2021-04-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20180515

共 50 条

[1]

硅片的清洗方法 [P].

雷丰泉 .

中国专利 :CN106653560B ,2017-05-10

[2]

一种硅片清洗液及硅片清洗方法 [P].

刘长明 ;

金井升 ;

张昕宇 ;

金浩 .

中国专利 :CN108384667A ,2018-08-10

[3]

半导体硅片的清洗方法 [P].

李容军 .

中国专利 :CN109841496A ,2019-06-04

[4]

一种硅片的清洗方法 [P].

于昊 ;

宫勇 ;

兰育辉 .

中国专利 :CN102114481B ,2011-07-06

[5]

一种用于硅片清洗抛光的混酸清洗液及抛光硅片清洗方法 [P].

杉原一男 ;

贺贤汉 ;

李飞 ;

赵剑锋 ;

洪漪 .

中国专利 :CN113736580A ,2021-12-03

[6]

硅片的清洗方法 [P].

钱明明 ;

徐建 ;

贾泰 ;

彭彪 .

中国专利 :CN107706087B ,2018-02-16

[7]

一种湿法硅片清洗方法 [P].

吕耀安 .

中国专利 :CN105914137B ,2016-08-31

[8]

一种太阳能电池硅片的清洗方法 [P].

侯玥玥 ;

金井升 ;

黄纪德 ;

蒋方丹 ;

金浩 .

中国专利 :CN105810563A ,2016-07-27

[9]

一种清洗硅片的方法 [P].

王泉 .

中国专利 :CN105321797A ,2016-02-10

[10]

一种硅片清洗装置、硅片清洗方法以及硅片存放车 [P].

赵晟佑 .

中国专利 :CN110479685A ,2019-11-22

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