一种基于喷涂-化学气相沉积法制备纳米结构气敏薄膜的方法

被引：0

申请号：

CN202210302572.X

申请日：

2022-03-24

公开(公告)号：

CN114703463A

公开(公告)日：

2022-07-05

发明(设计)人：

张超徐金勇周逸文许开春

申请人：

申请人地址：

225009 江苏省扬州市大学南路88号

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

C23C16513 C23C16448 G01N2712

代理机构：

南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32272

代理人：

王晓东;赵荔

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-05	公开	公开
2022-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/40 申请日:20220324

共 50 条

[1]

化学气相沉积法制备薄膜的装置 [P].

董才士 .

中国专利 :CN1940131A ,2007-04-04

[2]

一种化学气相沉积法制备薄膜装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112267104A ,2021-01-26

[3]

一种化学气相沉积法制备石墨烯薄膜的方法 [P].

崔成杰 ;

贾宇冲 ;

马俊杰 .

中国专利 :CN105734525A ,2016-07-06

[4]

基于化学气相沉积法制备样品的系统 [P].

陈小梅 .

中国专利 :CN204803403U ,2015-11-25

[5]

一种基于化学气相沉积法制备磁性石墨烯薄膜的方法 [P].

吴军 ;

杨东阳 ;

吕诚 ;

姚林 ;

万建国 .

中国专利 :CN109440081B ,2019-03-08

[6]

化学气相沉积法制备石墨烯 [P].

金闯 ;

杨晓明 .

中国专利 :CN104030277A ,2014-09-10

[7]

化学气相沉积法制备石墨烯的方法 [P].

刘云圻 ;

魏大程 ;

狄重安 ;

王钰 ;

张洪亮 ;

黄丽平 ;

于贵 .

中国专利 :CN101285175A ,2008-10-15

[8]

化学气相沉积法制备硅化钛纳米线的方法 [P].

杜丕一 ;

杜军 ;

郝鹏 ;

黄燕飞 ;

翁文剑 ;

韩高荣 ;

赵高凌 .

中国专利 :CN100356522C ,2006-08-23

[9]

化学气相沉积法制备片状氮化钛纳米材料的方法 [P].

杜军 ;

许鑫鑫 ;

王锋 ;

丁瑜 ;

汪连生 ;

覃彩芹 .

中国专利 :CN106586984A ,2017-04-26

[10]

基于气相动力学平衡的石墨烯化学气相沉积法制备方法 [P].

何军 ;

李家贵 ;

陆曼婵 ;

张培 ;

陆钊 ;

李超建 ;

杨彤 ;

陆家源 ;

陆曼莎 ;

陆宇秋 ;

刘春玲 .

中国专利 :CN104773724A ,2015-07-15

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