一种化学气相沉积法制备薄膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011201511.1

申请日：

2020-11-02

公开(公告)号：

CN112267104A

公开(公告)日：

2021-01-26

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

235100 安徽省淮北市濉溪县五沟镇槽坊村张松林庄130号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

深圳市创富知识产权代理有限公司 44367

代理人：

王军

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-26	公开	公开
2021-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20201102
2022-05-10	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C 16/458 申请公布日:20210126

共 50 条

[1]

化学气相沉积法制备薄膜的装置 [P].

董才士 .

中国专利 :CN1940131A ,2007-04-04

[2]

化学气相沉积法制备石墨烯 [P].

金闯 ;

杨晓明 .

中国专利 :CN104030277A ,2014-09-10

[3]

一种化学气相沉积法制备石墨烯薄膜的方法 [P].

崔成杰 ;

贾宇冲 ;

马俊杰 .

中国专利 :CN105734525A ,2016-07-06

[4]

一种化学气相沉积法制备石墨烯 [P].

金闯 ;

杨晓明 .

中国专利 :CN104085887A ,2014-10-08

[5]

一种CVD化学气相沉积法制备石墨烯薄膜专用支架 [P].

郝振亮 ;

蔡金明 ;

陈其赞 ;

黄文添 .

中国专利 :CN216838170U ,2022-06-28

[6]

双加热装置及其化学气相沉积法制备多层超导薄膜工艺 [P].

傅兴华 ;

王松 ;

杨发顺 ;

杨健 .

中国专利 :CN1986879A ,2007-06-27

[7]

一种基于化学气相沉积法制备磁性石墨烯薄膜的方法 [P].

吴军 ;

杨东阳 ;

吕诚 ;

姚林 ;

万建国 .

中国专利 :CN109440081B ,2019-03-08

[8]

化学气相沉积法制备石墨烯的方法 [P].

刘云圻 ;

魏大程 ;

狄重安 ;

王钰 ;

张洪亮 ;

黄丽平 ;

于贵 .

中国专利 :CN101285175A ,2008-10-15

[9]

一种基于喷涂-化学气相沉积法制备纳米结构气敏薄膜的方法 [P].

张超 ;

徐金勇 ;

周逸文 ;

许开春 .

中国专利 :CN114703463A ,2022-07-05

[10]

基于化学气相沉积法制备样品的系统 [P].

陈小梅 .

中国专利 :CN204803403U ,2015-11-25

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