双加热装置及其化学气相沉积法制备多层超导薄膜工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610201503.0

申请日：

2006-12-31

公开(公告)号：

CN1986879A

公开(公告)日：

2007-06-27

发明(设计)人：

傅兴华王松杨发顺杨健

申请人：

申请人地址：

550003贵州省贵阳市蔡家关

IPC主分类号：

C23C1646

IPC分类号：

C23C1630 C23C1652

代理机构：

贵阳中新专利商标事务所

代理人：

吴无惧

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101705178807 IPC(主分类):C23C 16/46 专利号:ZL2006102015030 申请日:20061231 授权公告日:20090819 终止日期:20151231
2008-01-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-08-19	授权	授权
2007-06-27	公开	公开

共 50 条

[1]

化学气相沉积法制备薄膜的装置 [P].

董才士 .

中国专利 :CN1940131A ,2007-04-04

[2]

一种化学气相沉积法制备薄膜装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112267104A ,2021-01-26

[3]

化学气相沉积两步法制备大面积硼化镁超导薄膜工艺 [P].

傅兴华 ;

王殿生 ;

张正平 ;

杨健 .

中国专利 :CN1349005A ,2002-05-15

[4]

化学气相沉积法制备石墨烯 [P].

金闯 ;

杨晓明 .

中国专利 :CN104030277A ,2014-09-10

[5]

化学气相沉积加热装置 [P].

刘婷婷 ;

郭月 ;

杨艳 ;

姜崴 ;

谈太德 ;

苏欣 .

中国专利 :CN114635122B ,2022-06-17

[6]

化学气相沉积法制备石墨烯的方法 [P].

刘云圻 ;

魏大程 ;

狄重安 ;

王钰 ;

张洪亮 ;

黄丽平 ;

于贵 .

中国专利 :CN101285175A ,2008-10-15

[7]

基于化学气相沉积法制备样品的系统 [P].

陈小梅 .

中国专利 :CN204803403U ,2015-11-25

[8]

加热装置及化学气相沉积设备 [P].

乔徽 .

中国专利 :CN203007406U ,2013-06-19

[9]

加热装置及化学气相沉积系统 [P].

吴俊德 ;

赖彦霖 ;

陈佶亨 .

中国专利 :CN110656319A ,2020-01-07

[10]

加热装置及化学气相沉积设备 [P].

乔徽 .

中国专利 :CN103074612A ,2013-05-01

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