一种半蚀刻掩膜板结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021831801.X

申请日：

2020-08-26

公开(公告)号：

CN212833993U

公开(公告)日：

2021-03-30

发明(设计)人：

谭照明

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区松岗街道东方社区大田洋工业区北一路7号1-3楼

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424 H01L5156

代理机构：

深圳市中科创为专利代理有限公司 44384

代理人：

梁炎芳;谭雪婷

法律状态：

国省代码：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

一种掩膜板结构 [P].

马得贵 ;

吴俊雄 ;

冉应刚 ;

柯贤军 ;

苏君海 .

中国专利 :CN204434716U ,2015-07-01

[2]

一种掩膜板结构 [P].

方志伟 ;

张麒麟 ;

吴聪原 .

中国专利 :CN216514076U ,2022-05-13

[3]

一种掩膜板结构 [P].

刘晓佳 ;

邓亮 ;

张成明 .

中国专利 :CN206162053U ,2017-05-10

[4]

一种掩膜板结构 [P].

沈志昇 .

中国专利 :CN215713329U ,2022-02-01

[5]

一种新型掩膜板结构 [P].

马得贵 ;

吴俊雄 ;

冉应刚 ;

柯贤军 ;

苏君海 .

中国专利 :CN204434720U ,2015-07-01

[6]

镀头掩膜板结构 [P].

王康 ;

王锋涛 ;

林桂贤 ;

郑亚情 ;

黄金台 .

中国专利 :CN202148357U ,2012-02-22

[7]

掩膜板及掩膜板结构 [P].

吴建鹏 ;

孙国栋 ;

张锴 .

中国专利 :CN216585166U ,2022-05-24

[8]

掩膜板及掩膜板结构 [P].

吴建鹏 ;

孙国栋 ;

张锴 .

中国专利 :CN113832431B ,2025-01-07

[9]

掩膜板及掩膜板结构 [P].

吴建鹏 ;

孙国栋 ;

张锴 .

中国专利 :CN113832431A ,2021-12-24

[10]

一种金属掩膜板蚀刻装置 [P].

隋鑫 ;

朱海彬 ;

尹小江 ;

胡胜坤 ;

孟辉辉 ;

赵芳芳 ;

晁亮 ;

杨志业 .

中国专利 :CN221566326U ,2024-08-20

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