掩膜板及掩膜板结构

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专利类型
发明
申请号
CN202111288508.2
申请日
2021-11-02
公开(公告)号
CN113832431B
公开(公告)日
2025-01-07
发明(设计)人
吴建鹏 孙国栋 张锴
申请人
京东方科技集团股份有限公司 成都京东方光电科技有限公司
申请人地址
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号
C23C14/04
IPC分类号
C23C14/24
代理机构
北京博思佳知识产权代理有限公司 11415
代理人
梁鹏
法律状态
授权
国省代码
北京市 市辖区
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共 50 条
[1]
掩膜板及掩膜板结构 [P]. 
吴建鹏 ;
孙国栋 ;
张锴 .
中国专利 :CN216585166U ,2022-05-24
[2]
掩膜板及掩膜板结构 [P]. 
吴建鹏 ;
孙国栋 ;
张锴 .
中国专利 :CN113832431A ,2021-12-24
[3]
掩膜板、掩膜板结构和掩膜板制作方法 [P]. 
郭登俊 ;
周俊吉 ;
杨博文 ;
张文畅 ;
马超 ;
伍青峰 ;
罗小龙 ;
杜志林 ;
石应东 ;
易烁文 ;
吕文旭 .
中国专利 :CN111676446A ,2020-09-18
[4]
掩膜板及掩膜组件 [P]. 
彭丽娟 .
中国专利 :CN110079763A ,2019-08-02
[5]
掩膜板及掩膜组件 [P]. 
臧公正 ;
李文星 ;
李伟丽 ;
韩冰 ;
张继帅 ;
邱岳 .
中国专利 :CN114107897A ,2022-03-01
[6]
掩膜板及掩膜装置 [P]. 
张丁成 ;
朱修剑 .
中国专利 :CN115637406B ,2025-08-12
[7]
掩膜条及掩膜板 [P]. 
刘明星 ;
王徐亮 ;
甘帅燕 ;
高峰 .
中国专利 :CN208266250U ,2018-12-21
[8]
掩膜条及掩膜板 [P]. 
康梦华 .
中国专利 :CN111254386A ,2020-06-09
[9]
掩膜板及掩膜组件 [P]. 
李加伟 .
中国专利 :CN110760791A ,2020-02-07
[10]
掩膜框架及掩膜板 [P]. 
臧公正 .
中国专利 :CN115537724B ,2024-11-29