掩膜板、掩膜板结构和掩膜板制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010588550.5

申请日：

2020-06-24

公开(公告)号：

CN111676446A

公开(公告)日：

2020-09-18

发明(设计)人：

郭登俊周俊吉杨博文张文畅马超伍青峰罗小龙杜志林石应东易烁文吕文旭

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

杨广宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20200624
2020-09-18	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜板制作方法和掩膜板 [P].

齐英旭 ;

卓林海 ;

王亚 ;

郭宏伟 ;

田斌 .

中国专利 :CN113388808B ,2021-09-14

[2]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

刘明星 ;

王徐亮 ;

高峰 ;

张玄 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN108559947B ,2018-09-21

[3]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

周丽芳 ;

刘明星 ;

王徐亮 .

中国专利 :CN108642441A ,2018-10-12

[4]

掩膜单元及掩膜板的制作方法和掩膜板 [P].

臧公正 ;

李文星 ;

李伟丽 .

中国专利 :CN116011211B ,2025-04-29

[5]

掩膜板制作方法及掩膜板 [P].

刘周英 .

中国专利 :CN109830511A ,2019-05-31

[6]

掩膜板及掩膜板结构 [P].

吴建鹏 ;

孙国栋 ;

张锴 .

中国专利 :CN216585166U ,2022-05-24

[7]

掩膜板及掩膜板结构 [P].

吴建鹏 ;

孙国栋 ;

张锴 .

中国专利 :CN113832431B ,2025-01-07

[8]

掩膜板的制作方法、掩膜板及掩膜组件 [P].

张丁成 .

中国专利 :CN120330659A ,2025-07-18

[9]

掩膜板及掩膜板结构 [P].

吴建鹏 ;

孙国栋 ;

张锴 .

中国专利 :CN113832431A ,2021-12-24

[10]

掩膜板、掩膜板组件及掩膜板组件的制作方法 [P].

余强根 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN120844011A ,2025-10-28

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