掩膜单元及掩膜板的制作方法和掩膜板

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211711695.5

申请日：

2022-12-29

公开(公告)号：

CN116011211B

公开(公告)日：

2025-04-29

发明(设计)人：

臧公正李文星李伟丽

申请人：

昆山国显光电有限公司

申请人地址：

215300 江苏省昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

G06F30/20

IPC分类号：

C23C14/04 C23C14/24 C23C14/54 H10K71/00 G06F119/14

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

李亚丽;刘芳

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

刘明星 ;

王徐亮 ;

高峰 ;

张玄 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN108559947B ,2018-09-21

[2]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

周丽芳 ;

刘明星 ;

王徐亮 .

中国专利 :CN108642441A ,2018-10-12

[3]

掩膜板制作方法和掩膜板 [P].

齐英旭 ;

卓林海 ;

王亚 ;

郭宏伟 ;

田斌 .

中国专利 :CN113388808B ,2021-09-14

[4]

掩膜板的制作方法、掩膜板及掩膜组件 [P].

张丁成 .

中国专利 :CN120330659A ,2025-07-18

[5]

掩膜板制作方法及掩膜板 [P].

刘周英 .

中国专利 :CN109830511A ,2019-05-31

[6]

掩膜板、掩膜板结构和掩膜板制作方法 [P].

郭登俊 ;

周俊吉 ;

杨博文 ;

张文畅 ;

马超 ;

伍青峰 ;

罗小龙 ;

杜志林 ;

石应东 ;

易烁文 ;

吕文旭 .

中国专利 :CN111676446A ,2020-09-18

[7]

掩膜板的制作方法及掩膜板 [P].

潘晟恺 ;

李如 ;

熊腾青 ;

乔永康 ;

杨凯 .

中国专利 :CN113005399A ,2021-06-22

[8]

掩膜板的制作方法及掩膜板 [P].

肖灿俊 ;

徐健 ;

刘耀阳 .

中国专利 :CN107740041A ,2018-02-27

[9]

掩膜板及掩膜板的制作方法 [P].

毕娜 ;

王威 ;

刘华猛 .

中国专利 :CN117305767B ,2025-09-19

[10]

掩膜板的制作方法及掩膜板 [P].

王亚 ;

钱超 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN119194349B ,2025-04-04

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