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掩膜板及掩膜组件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910153513.9
申请日：
2019-02-28
公开(公告)号：
CN110760791A
公开(公告)日：
2020-02-07
发明(设计)人：
李加伟
申请人：
申请人地址：
065500 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C23C1424
代理机构：
北京曼威知识产权代理有限公司 11709
代理人：
方志炜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-07 | 公开 | 公开 |
| 2020-03-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20190228 |