掩膜组件及掩膜板

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310092962.3

申请日：

2023-01-18

公开(公告)号：

CN116121698B

公开(公告)日：

2025-07-29

发明(设计)人：

杨峰李有鹏李慧赵晶晶邹敏王盼盼

申请人：

合肥维信诺科技有限公司昆山国显光电有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市新站区新蚌埠路5555号

IPC主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

C23C14/24

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

李亚丽;刘芳

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

掩膜板及掩膜组件 [P].

彭丽娟 .

中国专利 :CN110079763A ,2019-08-02

[2]

掩膜板及掩膜组件 [P].

臧公正 ;

李文星 ;

李伟丽 ;

韩冰 ;

张继帅 ;

邱岳 .

中国专利 :CN114107897A ,2022-03-01

[3]

掩膜板及掩膜组件 [P].

李加伟 .

中国专利 :CN110760791A ,2020-02-07

[4]

掩膜板及掩膜组件 [P].

李加伟 .

中国专利 :CN110760790A ,2020-02-07

[5]

掩膜板及掩膜组件 [P].

李金库 ;

康梦华 ;

王梦凡 .

中国专利 :CN108642440B ,2018-10-12

[6]

掩膜板及掩膜组件 [P].

戚海平 .

中国专利 :CN107768551A ,2018-03-06

[7]

掩膜组件、主掩膜板及配合掩膜板 [P].

韩冰 ;

王徐亮 ;

张玄 ;

甘帅燕 ;

高峰 .

中国专利 :CN108559946B ,2018-09-21

[8]

掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板 [P].

苏君海 ;

龚建国 ;

吴俊雄 ;

冉应刚 ;

柯贤军 ;

李建华 .

中国专利 :CN107653435A ,2018-02-02

[9]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

刘明星 ;

王徐亮 ;

高峰 ;

张玄 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN108559947B ,2018-09-21

[10]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

周丽芳 ;

刘明星 ;

王徐亮 .

中国专利 :CN108642441A ,2018-10-12

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