掩膜板及掩膜组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711054173.1

申请日：

2017-10-31

公开(公告)号：

CN107768551A

公开(公告)日：

2018-03-06

发明(设计)人：

戚海平

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

H01L5156

IPC分类号：

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

滕一斌

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-06	公开	公开
2019-06-25	授权	授权
2018-03-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/56 申请日:20171031

共 50 条

[1]

掩膜板及掩膜组件 [P].

彭丽娟 .

中国专利 :CN110079763A ,2019-08-02

[2]

掩膜板及掩膜组件 [P].

臧公正 ;

李文星 ;

李伟丽 ;

韩冰 ;

张继帅 ;

邱岳 .

中国专利 :CN114107897A ,2022-03-01

[3]

掩膜板及掩膜组件 [P].

李加伟 .

中国专利 :CN110760791A ,2020-02-07

[4]

掩膜板及掩膜组件 [P].

李加伟 .

中国专利 :CN110760790A ,2020-02-07

[5]

掩膜组件及掩膜板 [P].

杨峰 ;

李有鹏 ;

李慧 ;

赵晶晶 ;

邹敏 ;

王盼盼 .

中国专利 :CN116121698B ,2025-07-29

[6]

掩膜板及掩膜组件 [P].

李金库 ;

康梦华 ;

王梦凡 .

中国专利 :CN108642440B ,2018-10-12

[7]

掩膜板及掩膜板组件 [P].

王恩霞 ;

孙琳 ;

李世泰 ;

李慧 ;

李伟丽 ;

刘明星 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN111926291A ,2020-11-13

[8]

掩膜组件、主掩膜板及配合掩膜板 [P].

韩冰 ;

王徐亮 ;

张玄 ;

甘帅燕 ;

高峰 .

中国专利 :CN108559946B ,2018-09-21

[9]

掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板 [P].

苏君海 ;

龚建国 ;

吴俊雄 ;

冉应刚 ;

柯贤军 ;

李建华 .

中国专利 :CN107653435A ,2018-02-02

[10]

掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法 [P].

刘明星 ;

王徐亮 ;

高峰 ;

张玄 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN108559947B ,2018-09-21

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