一种等离子真空镀膜室

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220442156.1

申请日：

2012-08-31

公开(公告)号：

CN202755057U

公开(公告)日：

2013-02-27

发明(设计)人：

李灿民陶满陶圣全

申请人：

申请人地址：

230041 安徽省合肥市庐阳区天水路11号百帮创业园9#楼一楼

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

代理机构：

安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101

代理人：

何梅生;王伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-27	授权	授权
2016-10-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101683501223 IPC(主分类):C23C 16/50 专利号:ZL2012204421561 申请日:20120831 授权公告日:20130227 终止日期:20150831

共 50 条

[1]

一种设有中心电极的真空镀膜室 [P].

李灿民 .

中国专利 :CN203200334U ,2013-09-18

[2]

改进的等离子真空镀膜装置 [P].

王百江 ;

杨宁合 .

中国专利 :CN200952035Y ,2007-09-26

[3]

等离子机构和真空镀膜装置 [P].

黎裕有 .

中国专利 :CN214612721U ,2021-11-05

[4]

一种等离子表面真空镀膜设备 [P].

艾庆林 .

中国专利 :CN216155952U ,2022-04-01

[5]

一种等离子体真空镀膜室 [P].

渠艳良 ;

李雷 .

中国专利 :CN214458315U ,2021-10-22

[6]

一种连续式等离子真空镀膜装置 [P].

柯文祥 .

中国专利 :CN205115597U ,2016-03-30

[7]

超大型等离子真空镀膜装置 [P].

王百江 ;

杨宁合 .

中国专利 :CN200952034Y ,2007-09-26

[8]

真空镀膜室 [P].

郭书周 .

中国专利 :CN206015078U ,2017-03-15

[9]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

[10]

一种真空镀膜室 [P].

张德强 .

中国专利 :CN208717418U ,2019-04-09

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