激光能量测定装置及激光能量测定方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201980040983.2
申请日
2019-06-12
公开(公告)号
CN112313487A
公开(公告)日
2021-02-02
发明(设计)人
水村通伸
申请人
申请人地址
日本神奈川县
IPC主分类号
G01J102
IPC分类号
G01J404 H01L2120 H01L21268 H01S300
代理机构
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人
黄志华;洪秀川
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
激光能量稳定装置 [P]. 
文侨 ;
卢建新 ;
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[2]
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安永军 ;
王豪 ;
张世权 .
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[3]
激光能量测量装置和补偿激光能量的方法 [P]. 
董邦林 ;
余金鹏 .
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王启林 ;
伏国兴 ;
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[6]
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[7]
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周桂兵 ;
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[8]
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杨政辉 ;
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[9]
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[10]
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邱基斯 ;
唐熊忻 ;
张晶 ;
张国新 .
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