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激光能量测定装置及激光能量测定方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201980040983.2
申请日
:
2019-06-12
公开(公告)号
:
CN112313487A
公开(公告)日
:
2021-02-02
发明(设计)人
:
水村通伸
申请人
:
申请人地址
:
日本神奈川县
IPC主分类号
:
G01J102
IPC分类号
:
G01J404
H01L2120
H01L21268
H01S300
代理机构
:
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人
:
黄志华;洪秀川
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-07-06
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 1/02 申请日:20190612
2021-02-02
公开
公开
共 50 条
[1]
激光能量稳定装置
[P].
文侨
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文侨
;
卢建新
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卢建新
;
李冀
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李冀
.
中国专利
:CN206211261U
,2017-05-31
[2]
激光能量补偿系统、激光晶化装置及补偿激光能量的方法
[P].
安永军
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安永军
;
王豪
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王豪
;
张世权
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张世权
.
中国专利
:CN110661167B
,2020-01-07
[3]
激光能量测量装置和补偿激光能量的方法
[P].
董邦林
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机构:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
董邦林
;
余金鹏
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机构:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
余金鹏
.
中国专利
:CN117740143A
,2024-03-22
[4]
激光能量吸收装置
[P].
蒲慧慧
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蒲慧慧
;
王维
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王维
;
钟兴海
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钟兴海
;
马修泉
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马修泉
.
中国专利
:CN110932062A
,2020-03-27
[5]
激光能量调节装置
[P].
王庭云
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机构:
新启航半导体有限公司
新启航半导体有限公司
王庭云
;
王启林
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机构:
新启航半导体有限公司
新启航半导体有限公司
王启林
;
伏国兴
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机构:
新启航半导体有限公司
新启航半导体有限公司
伏国兴
;
张雄
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机构:
新启航半导体有限公司
新启航半导体有限公司
张雄
.
中国专利
:CN119674675A
,2025-03-21
[6]
激光能量调节装置
[P].
高云峰
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高云峰
;
张义
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张义
;
刘维波
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刘维波
.
中国专利
:CN201438241U
,2010-04-14
[7]
激光能量吸收装置
[P].
黎鹏
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黎鹏
;
周桂兵
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周桂兵
;
陈根余
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陈根余
;
陈燚
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陈燚
;
高云峰
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高云峰
.
中国专利
:CN205752968U
,2016-11-30
[8]
激光能量衰减装置及激光设备
[P].
谢盛宜
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谢盛宜
;
任宁
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任宁
;
杨政辉
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杨政辉
;
曾庆升
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曾庆升
;
高云峰
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高云峰
.
中国专利
:CN218350618U
,2023-01-20
[9]
激光能量监测腔
[P].
黎富尧
论文数:
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黎富尧
.
中国专利
:CN200996868Y
,2007-12-26
[10]
激光能量检测系统及检测方法
[P].
樊仲维
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樊仲维
;
邱基斯
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邱基斯
;
唐熊忻
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唐熊忻
;
张晶
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张晶
;
张国新
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张国新
.
中国专利
:CN102486406A
,2012-06-06
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