激光能量测量装置和补偿激光能量的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311516347.7

申请日：

2023-11-13

公开(公告)号：

CN117740143A

公开(公告)日：

2024-03-22

发明(设计)人：

董邦林余金鹏

申请人：

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼

IPC主分类号：

G01J1/42

IPC分类号：

G01J1/44 G01J1/04

代理机构：

北京景闻知识产权代理有限公司 11742

代理人：

李亚洲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01J 1/42申请日:20231113
2024-03-22	公开	公开

共 50 条

[1]

激光能量补偿系统、激光晶化装置及补偿激光能量的方法 [P].

安永军 ;

王豪 ;

张世权 .

中国专利 :CN110661167B ,2020-01-07

[2]

脉冲激光能量测量装置和脉冲激光能量测量方法 [P].

祝敏 ;

陆耀东 ;

江一平 .

中国专利 :CN102809425A ,2012-12-05

[3]

激光雷达测云仪的激光能量测量装置 [P].

滕军 ;

佟增亮 ;

肖巧景 .

中国专利 :CN101408620A ,2009-04-15

[4]

激光能量调节装置 [P].

王庭云 ;

王启林 ;

伏国兴 ;

张雄 .

中国专利 :CN119674675A ,2025-03-21

[5]

脉冲激光能量测量装置 [P].

祝敏 ;

陆耀东 ;

江一平 .

中国专利 :CN202092776U ,2011-12-28

[6]

一种激光能量测量装置 [P].

李飞中 .

中国专利 :CN119245818A ,2025-01-03

[7]

激光能量测定装置及激光能量测定方法 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN112313487A ,2021-02-02

[8]

激光能量吸收装置 [P].

蒲慧慧 ;

王维 ;

钟兴海 ;

马修泉 .

中国专利 :CN110932062A ,2020-03-27

[9]

激光能量调节装置 [P].

高云峰 ;

张义 ;

刘维波 .

中国专利 :CN201438241U ,2010-04-14

[10]

激光能量吸收装置 [P].

黎鹏 ;

周桂兵 ;

陈根余 ;

陈燚 ;

高云峰 .

中国专利 :CN205752968U ,2016-11-30

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