一种半导体元器件用真空烧结装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202021158353.1
申请日
2020-06-19
公开(公告)号
CN212778578U
公开(公告)日
2021-03-23
发明(设计)人
周宗辉
申请人
申请人地址
100089 北京市海淀区上地信息路1号国际科技创业园2号楼1703
IPC主分类号
F27B505
IPC分类号
F27B512 F27B513 F27B506 F27D1700 H01L2167
代理机构
北京维正专利代理有限公司 11508
代理人
孙铭侦
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体元器件 [P]. 
曾繁川 ;
苏健泉 ;
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张超 ;
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半导体元器件整形装置 [P]. 
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党鹏 ;
杨光 ;
彭小虎 ;
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庞朋涛 .
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[8]
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[9]
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[10]
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