共 50 条
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基板保持装置、曝光装置以及器件制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN02151494.1
申请日：
2002-11-22
公开(公告)号：
CN1427309A
公开(公告)日：
2003-07-02
发明(设计)人：
近藤诚
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：
谷惠敏;关兆辉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2005-03-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2008-10-15 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 |
| 2003-07-02 | 公开 | 公开 |