光蚀刻用复合显影液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310134759.4

申请日：

2013-04-18

公开(公告)号：

CN103197516A

公开(公告)日：

2013-07-10

发明(设计)人：

徐雅玲黄源尹云舰罗江

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市瑶海区张洼路新站区工业园

IPC主分类号：

G03F732

IPC分类号：

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人：

周烽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101503530365 IPC(主分类):G03F 7/32 专利申请号:2013101347594 申请日:20130418
2015-06-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101716335581 IPC(主分类):G03F 7/32 专利申请号:2013101347594 申请公布日:20130710
2013-07-10	公开	公开

共 50 条

[1]

光致蚀刻剂用显影液及其制备方法与应用 [P].

冯卫文 .

中国专利 :CN102289160A ,2011-12-21

[2]

一种光蚀刻显影液的制备方法 [P].

徐雅玲 ;

黄源 ;

尹云舰 .

中国专利 :CN103197515A ,2013-07-10

[3]

光致抗蚀剂用显影液 [P].

神田隆 ;

近藤正树 .

中国专利 :CN1618042A ,2005-05-18

[4]

光致抗蚀剂用显影液 [P].

神田隆 ;

近藤正树 .

中国专利 :CN1618041A ,2005-05-18

[5]

显影液容器 [P].

肖浩 ;

王兵 ;

王杰 ;

于小君 ;

顾民 ;

杨军 .

中国专利 :CN211811251U ,2020-10-30

[6]

显影液喷头 [P].

邓皓 .

中国专利 :CN213814298U ,2021-07-27

[7]

平板显示用显影液 [P].

冯卫文 .

中国专利 :CN101566804B ,2009-10-28

[8]

显影液制造装置及显影液制造方法 [P].

中川俊元 ;

菊川诚 ;

小川修 ;

森田悟 ;

宝山隆博 .

中国专利 :CN1237398C ,2002-10-09

[9]

显影液供应系统及显影液填充方法 [P].

王忠诚 .

中国专利 :CN108732873B ,2018-11-02

[10]

光致抗蚀剂显影液 [P].

山下喜文 ;

川田聪志 ;

野仲徹 .

中国专利 :CN1392973A ,2003-01-22

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