一种光蚀刻显影液的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201310134754.1
申请日
2013-04-18
公开(公告)号
CN103197515A
公开(公告)日
2013-07-10
发明(设计)人
徐雅玲 黄源 尹云舰
申请人
申请人地址
230012 安徽省合肥市瑶海区张洼路新站区工业园
IPC主分类号
G03F732
IPC分类号
代理机构
杭州求是专利事务所有限公司 33200
代理人
周烽
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
光蚀刻用复合显影液 [P]. 
徐雅玲 ;
黄源 ;
尹云舰 ;
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中国专利 :CN103197516A ,2013-07-10
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