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一种环保显影液及其制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202110648886.0
申请日
:
2021-06-10
公开(公告)号
:
CN113419410A
公开(公告)日
:
2021-09-21
发明(设计)人
:
孙长义
郭俊成
李长华
申请人
:
申请人地址
:
242200 安徽省宣城市广德经济开发区鹏举路37号
IPC主分类号
:
G03F732
IPC分类号
:
C07F96547
代理机构
:
合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160
代理人
:
王俊晓
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-09-21
公开
公开
2021-10-12
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/32 申请日:20210610
共 50 条
[1]
一种环保显影液
[P].
周成香
论文数:
0
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0
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周成香
.
中国专利
:CN108170010A
,2018-06-15
[2]
显影液及其制备方法与应用
[P].
冯卫文
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冯卫文
.
中国专利
:CN102096344B
,2011-06-15
[3]
一种低张力正胶显影液及其制备方法
[P].
殷福华
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殷福华
;
季文庆
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季文庆
;
朱龙
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朱龙
;
邵勇
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邵勇
;
栾成
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栾成
.
中国专利
:CN102540772A
,2012-07-04
[4]
正胶显影液制备方法
[P].
朱祥龙
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朱祥龙
.
中国专利
:CN104330958A
,2015-02-04
[5]
显影液、制备方法及应用
[P].
邱柱
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
邱柱
;
张兵
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
张兵
;
杜冰
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
杜冰
;
张志强
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
张志强
;
梁豹
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
梁豹
;
徐栋
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
徐栋
;
赵建龙
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
赵建龙
;
向文胜
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
向文胜
.
中国专利
:CN118605093A
,2024-09-06
[6]
一种光蚀刻显影液的制备方法
[P].
徐雅玲
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徐雅玲
;
黄源
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黄源
;
尹云舰
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尹云舰
.
中国专利
:CN103197515A
,2013-07-10
[7]
正胶显影液制备装置
[P].
殷泼清
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殷泼清
.
中国专利
:CN204241835U
,2015-04-01
[8]
一种显影液及其制备方法
[P].
刘政
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刘政
;
刘波
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刘波
;
隋广宇
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隋广宇
.
中国专利
:CN109407477A
,2019-03-01
[9]
显影剂及其制备方法和显影液
[P].
曹晓伟
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曹晓伟
;
张建国
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张建国
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秦金涛
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秦金涛
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徐琳
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徐琳
;
高莉
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高莉
;
李月番
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李月番
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史小利
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史小利
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刘银霞
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刘银霞
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崔凤霞
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崔凤霞
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曹琳青
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曹琳青
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张抗
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张抗
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周俊俊
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周俊俊
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肖媛
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肖媛
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王敬臣
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王敬臣
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秦天苍
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秦天苍
.
中国专利
:CN108107668B
,2018-06-01
[10]
一种显影液及其制备方法
[P].
孙福广
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孙福广
;
陆兴培
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陆兴培
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陈文虎
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陈文虎
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何承江
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何承江
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陆而胜
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陆而胜
;
姜灏
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姜灏
;
陶所平
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陶所平
.
中国专利
:CN102591133A
,2012-07-18
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