一种微型平板静电驱动器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510042712.0

申请日：

2005-05-25

公开(公告)号：

CN1693180A

公开(公告)日：

2005-11-09

发明(设计)人：

苑伟政乔大勇虞益挺饶伏波马志波李晓莹

申请人：

申请人地址：

710072陕西省西安市友谊西路127号

IPC主分类号：

B81B300

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

西北工业大学专利中心

代理人：

杨国文

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-05-09	授权	授权
2005-11-09	公开	公开
2012-07-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101303910066 IPC(主分类):B81B 3/00 专利号:ZL2005100427120 申请日:20050525 授权公告日:20070509 终止日期:20110525

共 50 条

[1]

一种离面静电驱动器及其制作方法 [P].

王建坤 ;

杨振川 ;

闫桂珍 .

中国专利 :CN103288034A ,2013-09-11

[2]

压电驱动器及其制作方法 [P].

董蜀湘 ;

陈建国 .

中国专利 :CN102664233A ,2012-09-12

[3]

静电驱动器以及其驱动方法 [P].

高桥功 .

中国专利 :CN101283503A ,2008-10-08

[4]

MEMS微驱动器及其制作方法 [P].

赵全亮 ;

何广平 ;

狄杰建 ;

袁俊杰 ;

宋维力 ;

侯志灵 ;

李明勇 .

中国专利 :CN107128873A ,2017-09-05

[5]

MEMS扭转式静电驱动器的制作方法 [P].

荆二荣 .

中国专利 :CN105712288A ,2016-06-29

[6]

静电驱动器以及静电驱动器的制造方法 [P].

实吉敬二 ;

中田壮星 .

中国专利 :CN107710590B ,2018-02-16

[7]

一种大角度扭转微镜面驱动器制作方法 [P].

李四华 ;

徐静 ;

吴亚明 .

中国专利 :CN101549848A ,2009-10-07

[8]

静电驱动器及其实现方法 [P].

班圣光 ;

张乃川 ;

石拓 .

中国专利 :CN117348029A ,2024-01-05

[9]

静电驱动器及其实现方法 [P].

班圣光 ;

张乃川 ;

石拓 .

中国专利 :CN117348030A ,2024-01-05

[10]

静电驱动器及其实现方法 [P].

班圣光 ;

张乃川 ;

石拓 .

中国专利 :CN117348028A ,2024-01-05

← 1 2 3 4 5 →