基板检测方法和使用该方法的基板检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410006775.6

申请日：

2004-02-26

公开(公告)号：

CN1273825C

公开(公告)日：

2004-12-01

发明(设计)人：

村上清

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G01N21956

IPC分类号：

H05K1300

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

马莹;邵亚丽

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 21/956 申请日:20040226 授权公告日:20060906 终止日期:20210226
2004-12-01	公开	公开
2006-09-06	授权	授权
2005-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基板检测装置和基板检测方法 [P].

罗鹏 ;

王贺 ;

方鑫 ;

彭佳佳 ;

刘响 .

中国专利 :CN104634262B ,2015-05-20

[2]

基板外观检测装置和基板外观检测方法 [P].

草次良树 .

日本专利 :CN119318215A ,2025-01-14

[3]

基板标记检测装置和基板标记检测方法 [P].

井杨坤 .

中国专利 :CN105080855B ,2015-11-25

[4]

基板脱离检测装置和方法、以及使用该装置的基板处理装置和使用该方法的基板处理方法 [P].

菊池仁 ;

小林健 ;

吉田光广 ;

芳贺雄太 ;

高畠裕二 ;

伊藤尚秀 ;

菅原克昭 ;

千叶昌明 ;

佐藤弘幸 .

中国专利 :CN104183522B ,2014-12-03

[5]

基板检测装置、基板检测方法及基板检测模块 [P].

刘桂林 ;

李晶晶 ;

崔秀娟 ;

李娟 ;

张红岩 ;

于闪闪 .

中国专利 :CN105652480B ,2016-06-08

[6]

基板检测系统及基板检测方法 [P].

陈建锋 .

中国专利 :CN109580655A ,2019-04-05

[7]

基板检测装置及基板检测方法 [P].

崔汉铉 ;

河完龙 ;

徐正欢 .

中国专利 :CN111220623A ,2020-06-02

[8]

基板检测装置及基板检测方法 [P].

安永军 ;

沈强 .

中国专利 :CN120178006B ,2025-10-03

[9]

基板检测装置及基板检测方法 [P].

安永军 ;

沈强 .

中国专利 :CN120178006A ,2025-06-20

[10]

基板检测装置及基板检测方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105164542A ,2015-12-16

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