基板脱离检测装置和方法、以及使用该装置的基板处理装置和使用该方法的基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410225161.0

申请日：

2014-05-26

公开(公告)号：

CN104183522B

公开(公告)日：

2014-12-03

发明(设计)人：

菊池仁小林健吉田光广芳贺雄太高畠裕二伊藤尚秀菅原克昭千叶昌明佐藤弘幸

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-03	公开	公开
2015-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101640233277 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014102251610 申请日:20140526
2018-11-06	授权	授权

共 50 条

[1]

能旋转状态检测装置和方法、以及使用该装置的基板处理装置和使用该方法的基板处理方法 [P].

高桥喜一 ;

小林健 ;

高畠裕二 ;

伊藤尚秀 ;

菅原克昭 .

中国专利 :CN104183518A ,2014-12-03

[2]

基板处理装置以及使用基板处理装置的基板处理方法 [P].

日野出大辉 ;

太田乔 ;

西东和英 ;

山田邦夫 .

中国专利 :CN104934350A ,2015-09-23

[3]

基板处理装置及使用该装置的基板处理方法 [P].

曺生贤 ;

安成一 .

中国专利 :CN109964330A ,2019-07-02

[4]

基板检测方法和使用该方法的基板检测装置 [P].

村上清 .

中国专利 :CN1273825C ,2004-12-01

[5]

基板处理装置和基板处理装置的基板检测方法 [P].

久留巣健人 ;

森公平 .

中国专利 :CN105047585B ,2015-11-11

[6]

基板清洗刷、和使用该刷的基板处理装置及基板处理方法 [P].

岩见优树 ;

佐藤雅伸 .

中国专利 :CN100534644C ,2007-01-10

[7]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

守田聪 ;

饱本正巳 ;

森川胜洋 ;

水永耕市 .

中国专利 :CN110957241A ,2020-04-03

[8]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

福永信贵 ;

枪光正和 ;

藤井克久 ;

龙秀二郎 .

日本专利 :CN118081510A ,2024-05-28

[9]

基板处理方法和基板处理装置 [P].

加藤寿 ;

佐藤润 ;

村田昌弘 ;

大下健太郎 ;

菅野智子 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN104831255A ,2015-08-12

[10]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

加藤寿 ;

菊地宏之 ;

米泽雅人 ;

佐藤润 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN104637769B ,2015-05-20

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