一种原子层沉积制备双受主共掺氧化锌薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210532041.6

申请日：

2012-12-11

公开(公告)号：

CN103866277B

公开(公告)日：

2014-06-18

发明(设计)人：

卢维尔夏洋李超波李楠解婧

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C1640

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

刘丽君

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-10	授权	授权
2014-06-18	公开	公开
2014-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583760593 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2012105320416 申请日:20121211

共 50 条

[1]

原子层沉积制备N-As共掺的氧化锌薄膜的方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

张阳 ;

董亚斌 .

中国专利 :CN103866279A ,2014-06-18

[2]

基于氮的双受主共掺氧化锌薄膜的制备方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

解婧 .

中国专利 :CN103866265A ,2014-06-18

[3]

一种原子层沉积制备施主-受主共掺氧化锌薄膜的方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

解婧 .

中国专利 :CN103866280B ,2016-10-05

[4]

一种P-N共掺氧化锌薄膜的制备方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

董亚斌 ;

解婧 .

中国专利 :CN103866289A ,2014-06-18

[5]

原子层沉积的共掺氧化锌薄膜的制备方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

解婧 .

中国专利 :CN103866275B ,2014-06-18

[6]

原子层沉积制备共掺的氧化锌薄膜的方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

解婧 ;

李楠 .

中国专利 :CN103866276A ,2014-06-18

[7]

原子层沉积制备Te-N共掺的氧化锌薄膜的方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

董亚斌 ;

李楠 .

中国专利 :CN103866269A ,2014-06-18

[8]

原子层沉积制备N-Zr共掺的氧化锌薄膜的方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

董亚斌 .

中国专利 :CN103866273A ,2014-06-18

[9]

用于施主-受主共掺氧化锌薄膜的制备方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

董亚斌 .

中国专利 :CN103866271A ,2014-06-18

[10]

一种掺氮氧化锌薄膜的制备方法 [P].

刘键 ;

饶志鹏 ;

万军 ;

夏洋 ;

李超波 ;

陈波 ;

黄成强 ;

石莎莉 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN102304700B ,2012-01-04

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