一种掺氮氧化锌薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110287076.3

申请日：

2011-09-23

公开(公告)号：

CN102304700B

公开(公告)日：

2012-01-04

发明(设计)人：

刘键饶志鹏万军夏洋李超波陈波黄成强石莎莉李勇滔

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

H01L21365 H01L310296 H01L3118

代理机构：

北京市德权律师事务所 11302

代理人：

刘丽君

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-30	授权	授权
2012-02-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101190912124 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2011102870763 申请日:20110923
2012-01-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化锌薄膜的制备方法 [P].

解婧 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103866284A ,2014-06-18

[2]

基于氮的双受主共掺氧化锌薄膜的制备方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

解婧 .

中国专利 :CN103866265A ,2014-06-18

[3]

一种P-N共掺氧化锌薄膜的制备方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

董亚斌 ;

解婧 .

中国专利 :CN103866289A ,2014-06-18

[4]

一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法 [P].

夏洋 ;

饶志鹏 ;

万军 ;

李超波 ;

陈波 ;

刘键 ;

江莹冰 ;

石莎莉 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN103205730B ,2013-07-17

[5]

掺氮二氧化钛薄膜的制备方法 [P].

万军 ;

赵柯杰 ;

黄成强 ;

饶志鹏 ;

陈波 ;

李超波 ;

夏洋 ;

吕树玲 ;

石莎莉 .

中国专利 :CN103160802B ,2013-06-19

[6]

一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法 [P].

张阳 ;

卢维尔 ;

董亚斌 ;

解婧 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103866264A ,2014-06-18

[7]

原子层沉积制备N-As共掺的氧化锌薄膜的方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

张阳 ;

董亚斌 .

中国专利 :CN103866279A ,2014-06-18

[8]

用于Te-N共掺氧化锌薄膜的制备方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

解婧 ;

张阳 .

中国专利 :CN103866270B ,2014-06-18

[9]

一种原子层沉积制备双受主共掺氧化锌薄膜的方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

李楠 ;

解婧 .

中国专利 :CN103866277B ,2014-06-18

[10]

一种制备低表面粗糙度氧化锌薄膜的方法 [P].

张阳 ;

董亚斌 ;

卢维尔 ;

解婧 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103866266A ,2014-06-18

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