一种氧化锌薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210545161.X

申请日：

2012-12-14

公开(公告)号：

CN103866284A

公开(公告)日：

2014-06-18

发明(设计)人：

解婧李超波夏洋

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C1656 C23C1640

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

刘丽君

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583763453 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:201210545161X 申请日:20121214
2014-06-18	公开	公开
2017-12-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/44 申请公布日:20140618

共 50 条

[1]

一种掺氮氧化锌薄膜的制备方法 [P].

刘键 ;

饶志鹏 ;

万军 ;

夏洋 ;

李超波 ;

陈波 ;

黄成强 ;

石莎莉 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN102304700B ,2012-01-04

[2]

一种氮化锌薄膜的制备方法 [P].

解婧 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103866263A ,2014-06-18

[3]

一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法 [P].

张阳 ;

卢维尔 ;

董亚斌 ;

解婧 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103866264A ,2014-06-18

[4]

一种P型氧化锌薄膜制备装置及方法 [P].

程嵩 ;

卢维尔 ;

夏洋 ;

李楠 ;

李超波 ;

张庆钊 .

中国专利 :CN108070843A ,2018-05-25

[5]

一种氧化锌单晶薄膜的制备方法 [P].

王惠琼 ;

李亚平 ;

郑金成 ;

李晓军 .

中国专利 :CN105225928B ,2016-01-06

[6]

一种制备氧化锌薄膜的方法和氧化锌薄膜 [P].

陈莉萍 ;

郭雪祥 ;

何绿 ;

黄仕华 ;

郭海 .

中国专利 :CN105112851A ,2015-12-02

[7]

一种氧化锌薄膜的制备方法 [P].

刘延辉 ;

周细应 ;

言智 ;

马春伟 .

中国专利 :CN101805892A ,2010-08-18

[8]

一种铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法 [P].

夏洋 ;

刘邦武 ;

冯嘉恒 .

中国专利 :CN104746039A ,2015-07-01

[9]

一种铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法 [P].

董雪迪 ;

林佳继 ;

张武 ;

刘群 .

中国专利 :CN115652277A ,2023-01-31

[10]

一种P-N共掺氧化锌薄膜的制备方法 [P].

卢维尔 ;

夏洋 ;

李超波 ;

董亚斌 ;

解婧 .

中国专利 :CN103866289A ,2014-06-18

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