一种氧化锌单晶薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510533156.0

申请日：

2015-08-27

公开(公告)号：

CN105225928B

公开(公告)日：

2016-01-06

发明(设计)人：

王惠琼李亚平郑金成李晓军

申请人：

申请人地址：

361005 福建省厦门市思明南路422号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

代理机构：

厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200

代理人：

马应森;戴深峻

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-07	授权	授权
2016-02-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101644504327 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2015105331560 申请日:20150827
2016-01-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种制备氧化锌薄膜的方法和氧化锌薄膜 [P].

陈莉萍 ;

郭雪祥 ;

何绿 ;

黄仕华 ;

郭海 .

中国专利 :CN105112851A ,2015-12-02

[2]

一种氧化锌薄膜的制备方法 [P].

解婧 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103866284A ,2014-06-18

[3]

一种氧化锌单晶纳米薄膜材料的制备方法 [P].

任峰 ;

蒋昌忠 .

中国专利 :CN100547123C ,2007-06-06

[4]

一种利用氧化铁缓冲层制备氧化锌单晶薄膜的方法 [P].

薛名山 ;

李文 ;

欧军飞 ;

王法军 .

中国专利 :CN102586867A ,2012-07-18

[5]

用n型氧化锌制备p型氧化锌薄膜的方法 [P].

赵东旭 ;

曹萍 ;

吕有明 ;

申德振 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN101225549A ,2008-07-23

[6]

一种氧化锌薄膜的制备方法 [P].

王秀峰 ;

方俊 .

中国专利 :CN100427403C ,2006-10-11

[7]

利用氧化锌缓冲层生长单晶氧化锌薄膜的方法 [P].

沈文娟 ;

曾一平 ;

王俊 .

中国专利 :CN1840747A ,2006-10-04

[8]

一种制备高质量氧化锌单晶薄膜的三缓冲层方法 [P].

杜小龙 ;

薛其坤 ;

贾金锋 ;

梅增霞 ;

英敏菊 ;

曾兆权 ;

郑浩 ;

袁洪涛 .

中国专利 :CN1622302A ,2005-06-01

[9]

一种制备高质量氧化锌基单晶薄膜的方法 [P].

杜小龙 ;

薛其坤 ;

梅增霞 ;

曾兆权 ;

英敏菊 ;

郑浩 .

中国专利 :CN1564314A ,2005-01-12

[10]

用于生成氧化锌薄膜的钨酸锌单晶衬底的制备方法 [P].

臧竞存 ;

邹玉林 ;

迟静 ;

何斌 ;

翟琳 .

中国专利 :CN1588616A ,2005-03-02

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