半导体扩散设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811088288.7

申请日：

2018-09-18

公开(公告)号：

CN110911305A

公开(公告)日：

2020-03-24

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2122

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-24	公开	公开
2020-04-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180918

共 50 条

[1]

半导体扩散设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208873701U ,2019-05-17

[2]

半导体扩散设备 [P].

郭世根 ;

李亭亭 ;

项金娟 ;

蒋浩杰 ;

丁云凌 ;

田光辉 .

中国专利 :CN114628276A ,2022-06-14

[3]

半导体扩散设备 [P].

吉松超 ;

任国威 ;

王斌 .

中国专利 :CN213304067U ,2021-05-28

[4]

半导体扩散设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208848864U ,2019-05-10

[5]

半导体扩散设备及其降温速率调节方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN111092026A ,2020-05-01

[6]

冷却装置及具有其的半导体扩散设备 [P].

金东盱 ;

李殷廷 ;

李亭亭 ;

项金娟 ;

蒋浩杰 ;

熊文娟 ;

田光辉 .

中国专利 :CN114628275A ,2022-06-14

[7]

用于半导体扩散工艺的扩散气体的供应装置及扩散设备 [P].

杨二存 ;

赵小平 ;

顾生刚 ;

刘海金 ;

高丽丽 ;

刘海泉 ;

郭星妙 .

中国专利 :CN210778647U ,2020-06-16

[8]

半导体扩散机台 [P].

许晋嘉 ;

邱子维 ;

李建忠 .

中国专利 :CN103715116A ,2014-04-09

[9]

半导体扩散设备的石英舟升降装置 [P].

林欣家 ;

郝琪 ;

董金卫 .

中国专利 :CN103681421B ,2014-03-26

[10]

半导体扩散设备的石英舟旋转装置 [P].

郝琪 ;

林欣家 .

中国专利 :CN205245768U ,2016-05-18

← 1 2 3 4 5 →