半导体扩散设备的石英舟旋转装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520835235.2

申请日：

2015-10-26

公开(公告)号：

CN205245768U

公开(公告)日：

2016-05-18

发明(设计)人：

郝琪林欣家

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层

IPC主分类号：

F27B110

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

郝瑞刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-18	授权	授权
2018-04-06	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):F27B 1/10 变更事项:专利权人变更前:北京七星华创电子股份有限公司变更后:北方华创科技集团股份有限公司变更事项:地址变更前:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
2018-04-06	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):F27B 1/10 登记生效日:20180319 变更事项:专利权人变更前权利人:北方华创科技集团股份有限公司变更后权利人:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

共 50 条

[1]

半导体扩散设备的石英舟升降装置 [P].

林欣家 ;

郝琪 ;

董金卫 .

中国专利 :CN203596342U ,2014-05-14

[2]

半导体扩散设备的石英舟升降装置 [P].

林欣家 ;

郝琪 ;

董金卫 .

中国专利 :CN103681421B ,2014-03-26

[3]

一种半导体扩散设备石英舟支撑密封装置 [P].

郝琪 ;

林欣家 .

中国专利 :CN205452252U ,2016-08-10

[4]

半导体扩散设备中石英反应管的装卸装置 [P].

林欣家 ;

郝琪 ;

董金卫 .

中国专利 :CN203593029U ,2014-05-14

[5]

半导体扩散设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208873701U ,2019-05-17

[6]

半导体扩散设备 [P].

郭世根 ;

李亭亭 ;

项金娟 ;

蒋浩杰 ;

丁云凌 ;

田光辉 .

中国专利 :CN114628276A ,2022-06-14

[7]

半导体扩散设备 [P].

吉松超 ;

任国威 ;

王斌 .

中国专利 :CN213304067U ,2021-05-28

[8]

半导体扩散设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208848864U ,2019-05-10

[9]

半导体扩散设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110911305A ,2020-03-24

[10]

一种半导体扩散设备的石英工件的倒角装置 [P].

王卫良 ;

李士昌 ;

刘超平 ;

林保璋 ;

曹飞 .

中国专利 :CN214642425U ,2021-11-09

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