半导体扩散设备的石英舟升降装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320778607.3

申请日：

2013-11-29

公开(公告)号：

CN203596342U

公开(公告)日：

2014-05-14

发明(设计)人：

林欣家郝琪董金卫

申请人：

申请人地址：

100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-14	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体扩散设备的石英舟升降装置 [P].

林欣家 ;

郝琪 ;

董金卫 .

中国专利 :CN103681421B ,2014-03-26

[2]

半导体扩散设备的石英舟旋转装置 [P].

郝琪 ;

林欣家 .

中国专利 :CN205245768U ,2016-05-18

[3]

半导体扩散设备中石英反应管的装卸装置 [P].

林欣家 ;

郝琪 ;

董金卫 .

中国专利 :CN203593029U ,2014-05-14

[4]

一种半导体扩散设备石英舟支撑密封装置 [P].

郝琪 ;

林欣家 .

中国专利 :CN205452252U ,2016-08-10

[5]

半导体扩散设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208873701U ,2019-05-17

[6]

半导体扩散设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208848864U ,2019-05-10

[7]

一种扩散炉石英舟的升降装置 [P].

周涛 .

中国专利 :CN213424957U ,2021-06-11

[8]

半导体扩散设备中石英反应管的装卸装置及其装卸方法 [P].

林欣家 ;

郝琪 ;

董金卫 .

中国专利 :CN103661527A ,2014-03-26

[9]

旋转升降装置、传输系统及半导体设备 [P].

陈艳威 ;

黄俊芃 .

中国专利 :CN223501853U ,2025-10-31

[10]

扩散石英舟 [P].

黄华 ;

陈琼 .

中国专利 :CN203085500U ,2013-07-24

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