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一种半导体扩散设备石英舟支撑密封装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201521133777.1
申请日：
2015-12-30
公开(公告)号：
CN205452252U
公开(公告)日：
2016-08-10
发明(设计)人：
郝琪
林欣家
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
郝瑞刚
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-08-10 | 授权 | 授权 |
| 2018-04-03 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/673 变更事项:专利权人 变更前:北京七星华创电子股份有限公司 变更后:北方华创科技集团股份有限公司 变更事项:地址 变更前:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层 变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |
| 2018-04-03 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/673 登记生效日:20180314 变更事项:专利权人 变更前权利人:北方华创科技集团股份有限公司 变更后权利人:北京北方华创微电子装备有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |