一种半导体石英舟的高效清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120980547.8

申请日：

2021-05-10

公开(公告)号：

CN214918606U

公开(公告)日：

2021-11-30

发明(设计)人：

周尤

申请人：

申请人地址：

065400 河北省廊坊市河北香河经济开发区运河大道东侧安晟街北侧运泰路西侧香河机器人产业港1期E2楼3层

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

北京化育知识产权代理有限公司 11833

代理人：

秦丽

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于石英舟的清洗装置 [P].

陈瑞 ;

云飞 ;

肖益波 .

中国专利 :CN221983282U ,2024-11-12

[2]

一种半导体用石英舟 [P].

盛文彬 ;

钱丽祥 ;

刘克勇 .

中国专利 :CN222813559U ,2025-04-29

[3]

一种高效的半导体晶圆清洗装置 [P].

付华秀 .

中国专利 :CN211938071U ,2020-11-17

[4]

一种半导体晶圆石英舟 [P].

薄耀辉 .

中国专利 :CN214099605U ,2021-08-31

[5]

一种清洗半导体晶片的石英缸 [P].

李杰 .

中国专利 :CN217881432U ,2022-11-22

[6]

半导体扩散设备的石英舟升降装置 [P].

林欣家 ;

郝琪 ;

董金卫 .

中国专利 :CN203596342U ,2014-05-14

[7]

一种半导体清洗装置 [P].

初亚东 ;

王娟 ;

李孟泽 ;

赵立群 ;

刘杰 ;

白树军 ;

周皓 ;

卢锴 ;

王晓娜 ;

李清霞 .

中国专利 :CN216120229U ,2022-03-22

[8]

一种半导体清洗装置 [P].

白俊春 .

中国专利 :CN216606382U ,2022-05-27

[9]

一种半导体清洗装置 [P].

廖宗洁 ;

贺贤汉 ;

张正伟 ;

周伯成 .

中国专利 :CN113770113A ,2021-12-10

[10]

一种半导体清洗装置 [P].

车陆 .

中国专利 :CN220456361U ,2024-02-06

← 1 2 3 4 5 →