半导体扩散设备中石英反应管的装卸装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320777708.9

申请日：

2013-11-29

公开(公告)号：

CN203593029U

公开(公告)日：

2014-05-14

发明(设计)人：

林欣家郝琪董金卫

申请人：

申请人地址：

100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

IPC主分类号：

B62B304

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;陶金龙

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-02	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101728576524 IPC(主分类):B62B 3/04 专利号:ZL2013207777089 申请日:20131129 授权公告日:20140514 放弃生效日:20160302
2014-05-14	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体扩散设备中石英反应管的装卸装置及其装卸方法 [P].

林欣家 ;

郝琪 ;

董金卫 .

中国专利 :CN103661527A ,2014-03-26

[2]

半导体扩散设备的石英舟升降装置 [P].

林欣家 ;

郝琪 ;

董金卫 .

中国专利 :CN203596342U ,2014-05-14

[3]

半导体扩散设备的石英舟升降装置 [P].

林欣家 ;

郝琪 ;

董金卫 .

中国专利 :CN103681421B ,2014-03-26

[4]

半导体扩散设备的石英舟旋转装置 [P].

郝琪 ;

林欣家 .

中国专利 :CN205245768U ,2016-05-18

[5]

托盘转运装卸装置及半导体加工设备 [P].

温任华 .

中国专利 :CN217377165U ,2022-09-06

[6]

半导体扩散用石英管清洗装置 [P].

胡艳 ;

岳爱文 ;

刘科 ;

李晶 .

中国专利 :CN203936083U ,2014-11-12

[7]

半导体扩散设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208873701U ,2019-05-17

[8]

半导体扩散设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208848864U ,2019-05-10

[9]

用于半导体扩散炉的石英钩 [P].

潘建英 ;

伍林 ;

周富利 .

中国专利 :CN202230993U ,2012-05-23

[10]

装卸装置、半导体设备和装载方法、卸载方法 [P].

杨钦淞 .

中国专利 :CN118782512A ,2024-10-15

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