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半导体扩散设备中石英反应管的装卸装置及其装卸方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310628388.5
申请日：
2013-11-29
公开(公告)号：
CN103661527A
公开(公告)日：
2014-03-26
发明(设计)人：
林欣家
郝琪
董金卫
申请人：
申请人地址：
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
IPC主分类号：
B62B304
IPC分类号：
代理机构：
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275
代理人：
吴世华;陶金龙
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-04-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581687485 IPC(主分类):B62B 3/04 专利申请号:2013106283885 申请日:20131129 |
| 2018-01-30 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):B62B 3/04 登记生效日:20180111 变更事项:专利权人 变更前权利人:北方华创科技集团股份有限公司 变更后权利人:北京北方华创微电子装备有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 变更后权利人:100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 |
| 2014-03-26 | 公开 | 公开 |
| 2018-01-30 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B62B 3/04 变更事项:专利权人 变更前:北京七星华创电子股份有限公司 变更后:北方华创科技集团股份有限公司 变更事项:地址 变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |
| 2016-03-02 | 授权 | 授权 |