一种SiC单晶生长压力自动控制装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200310113522.4
申请日
2003-11-14
公开(公告)号
CN1247832C
公开(公告)日
2004-11-10
发明(设计)人
陈小龙 吴星 李河清 倪代秦 胡伯清
申请人
申请人地址
100080北京市海淀区中关村南三街8号
IPC主分类号
C30B2300
IPC分类号
C30B2936
代理机构
北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
代理人
尹振启
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
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张博 ;
张洪驰 ;
黄稳 ;
高俊峰 ;
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范宏岩 ;
孙振彪 ;
姜城 ;
樊金明 ;
迟洪军 ;
王天可 ;
冯骋 ;
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