一种硅片用新型抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721072115.7

申请日：

2017-08-25

公开(公告)号：

CN207120063U

公开(公告)日：

2018-03-20

发明(设计)人：

汪伟华

申请人：

申请人地址：

313299 浙江省湖州市德清县武康镇长虹中街339号

IPC主分类号：

B24B104

IPC分类号：

B24B5500

代理机构：

杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230

代理人：

陈俊波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-20	授权	授权
2020-08-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 1/04 申请日:20170825 授权公告日:20180320 终止日期:20190825

共 50 条

[1]

一种硅片用新型抛光装置 [P].

汪伟华 .

中国专利 :CN107520686A ,2017-12-29

[2]

一种硅片用槽式抛光装置 [P].

陈其成 ;

裴银强 ;

陈培良 .

中国专利 :CN212934645U ,2021-04-09

[3]

一种可翻转的硅片用抛光装置 [P].

王晴 ;

丁光娅 ;

曾克 ;

胡文 .

中国专利 :CN218254473U ,2023-01-10

[4]

一种硅片生产用抛光装置 [P].

何建军 ;

沈桂英 ;

赵有文 .

中国专利 :CN218017779U ,2022-12-13

[5]

一种硅片用链式抛光装置 [P].

陈其成 ;

裴银强 ;

陈培良 .

中国专利 :CN213795941U ,2021-07-27

[6]

一种实验室用硅片清洗装置 [P].

公聪聪 ;

门秀婷 ;

李铭新 .

中国专利 :CN216880772U ,2022-07-05

[7]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

王志腾 ;

黄婷婷 ;

古再丽努尔·麦麦提尼亚孜 ;

夏村村 ;

钟喜琳 .

中国专利 :CN217017714U ,2022-07-22

[8]

一种半导体硅片用抛光装置 [P].

李文明 ;

龙科 .

中国专利 :CN218461836U ,2023-02-10

[9]

一种抛光装置 [P].

徐俊成 ;

尹影 ;

庞浩 ;

江伟 .

中国专利 :CN112059897B ,2020-12-11

[10]

一种硅片清洗烘干装置 [P].

徐海涛 .

中国专利 :CN108480277A ,2018-09-04

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