在真空中形成超硬无定形碳涂层的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480014171.4

申请日：

2004-04-21

公开(公告)号：

CN1795285A

公开(公告)日：

2006-06-28

发明(设计)人：

亚历山大·亚科夫列维奇·科尔帕克夫维塔利·尼古拉耶维奇·英克缨谢尔盖·伊凡诺维奇·尤克哈努维

申请人：

申请人地址：

瑞士门德里西奥

IPC主分类号：

C23C1422

IPC分类号：

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

郑小粤;胡杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-06-28	公开	公开
2022-04-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20040421 授权公告日:20091028 终止日期:20210421
2009-10-28	授权	授权

共 50 条

[1]

氢化无定形碳涂层 [P].

M·克里托尔 ;

R·格罗内恩 ;

S·V·辛格 ;

M·C·M·万德桑德恩 ;

K·万赫戈 .

中国专利 :CN101663416A ,2010-03-03

[2]

无定形碳膜的形成方法 [P].

邓浩 ;

张彬 .

中国专利 :CN103035513A ,2013-04-10

[3]

无定形碳处理方法及采用无定形碳作为硬掩膜的刻蚀方法 [P].

邓浩 ;

张彬 .

中国专利 :CN103021838B ,2013-04-03

[4]

在真空中生成金刚石般碳涂层的方法 [P].

瓦勒里·P·冈查伦科 ;

亚历山大·J·科尔帕科夫 ;

安纳托利·I·马斯洛夫 .

中国专利 :CN1258322A ,2000-06-28

[5]

无定形碳膜的制备方法 [P].

村濑仁俊 ;

下俊久 ;

野村信福 ;

丰田洋通 ;

山下浩 ;

仓本诚 .

中国专利 :CN101146741B ,2008-03-19

[6]

无定形碳硬掩膜层的形成方法及刻蚀方法 [P].

张彬 ;

邓浩 .

中国专利 :CN103137443B ,2013-06-05

[7]

减少无定形碳硬掩模膜的碳-氢含量的方法 [P].

法亚兹·谢赫 ;

西丽斯·雷迪 .

中国专利 :CN106024596B ,2016-10-12

[8]

形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法 [P].

T.J.V.布兰考特 .

中国专利 :CN112242295A ,2021-01-19

[9]

形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法 [P].

T.J.V.布兰考特 .

:CN112242295B ,2025-12-09

[10]

无定形碳薄膜的沉积方法 [P].

周洁鹏 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN114908331A ,2022-08-16

← 1 2 3 4 5 →