选择性氧化铟锡蚀刻液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410053071.8

申请日：

2014-02-17

公开(公告)号：

CN103805203A

公开(公告)日：

2014-05-21

发明(设计)人：

李建陈修宁贺承相王淑萍黄京华黄志齐

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇秦峰北路195号

IPC主分类号：

C09K1306

IPC分类号：

代理机构：

昆山四方专利事务所 32212

代理人：

盛建德

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101591109077 IPC(主分类):C09K 13/06 专利申请号:2014100530718 申请日:20140217
2015-11-04	授权	授权
2014-05-21	公开	公开

共 50 条

[1]

选择性锡蚀刻液 [P].

陈修宁 ;

王淑萍 ;

李建 ;

黄志齐 ;

黄京华 .

中国专利 :CN103866324B ,2014-06-18

[2]

一种钼氧化铟锌选择性蚀刻液 [P].

李少平 ;

苏张轩 ;

贺兆波 ;

冯凯 ;

严凡 .

中国专利 :CN120844088A ,2025-10-28

[3]

选择性铁蚀刻液及蚀刻方法 [P].

陈修宁 ;

李建 ;

王扩军 ;

黄志齐 ;

黄京华 ;

王淑萍 .

中国专利 :CN103194755A ,2013-07-10

[4]

铜选择性蚀刻液和钛选择性蚀刻液 [P].

江月华 .

中国专利 :CN105603425A ,2016-05-25

[5]

一种长蚀刻寿命的氧化铟锡蚀刻液 [P].

王维 ;

李自杰 ;

林秋玉 .

中国专利 :CN113801660B ,2021-12-17

[6]

一种镀铜氧化铟锡膜蚀刻工艺 [P].

王涛 ;

王永亮 ;

马振军 ;

辛克文 ;

杨仲艳 .

中国专利 :CN103436884A ,2013-12-11

[7]

金属选择性蚀刻液 [P].

高桥秀树 ;

黑岩健次 ;

加藤胜 .

中国专利 :CN1847457B ,2006-10-18

[8]

一种选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液 [P].

刘悦 ;

贺兆波 ;

钟昌东 ;

张庭 ;

冯凯 ;

尹印 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

李鑫 ;

李金航 .

中国专利 :CN114369462A ,2022-04-19

[9]

一种钨和氮化钛/钛的选择性蚀刻液 [P].

李少平 ;

余建平 ;

尹印 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

罗海燕 ;

万杨阳 ;

路明 ;

余迪 ;

臧洋 ;

杨陈宗 ;

杨俊伟 ;

马瑞 .

中国专利 :CN119307924A ,2025-01-14

[10]

一种钼和钨的选择性蚀刻液 [P].

罗佳杨 ;

苏张轩 ;

冯凯 ;

班昌胜 ;

严凡 ;

樊澌 ;

李素云 ;

李飞 .

中国专利 :CN119800362A ,2025-04-11

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