一种钼氧化铟锌选择性蚀刻液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510939301.9

申请日：

2025-07-08

公开(公告)号：

CN120844088A

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

李少平苏张轩贺兆波冯凯严凡

申请人：

湖北兴福电子材料股份有限公司

申请人地址：

443007 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号

IPC主分类号：

C23F1/26

IPC分类号：

H01L21/465

代理机构：

宜昌市三峡专利事务所 42103

代理人：

蒋悦

法律状态：

公开

国省代码：

湖北省宜昌市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	公开	公开
2025-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/26申请日:20250708

共 50 条

[1]

一种钼的选择性蚀刻液 [P].

贺兆波 ;

苏张轩 ;

罗佳杨 ;

叶瑞 ;

姜飞 ;

张庭 ;

冯凯 ;

王书萍 ;

李素云 ;

樊澌 ;

班昌胜 ;

严凡 ;

李飞 .

中国专利 :CN119710705A ,2025-03-28

[2]

选择性氧化铟锡蚀刻液 [P].

李建 ;

陈修宁 ;

贺承相 ;

王淑萍 ;

黄京华 ;

黄志齐 .

中国专利 :CN103805203A ,2014-05-21

[3]

一种钼和钨的选择性蚀刻液 [P].

罗佳杨 ;

苏张轩 ;

冯凯 ;

班昌胜 ;

严凡 ;

樊澌 ;

李素云 ;

李飞 .

中国专利 :CN119800362A ,2025-04-11

[4]

一种氮化钛和钼的选择性蚀刻液 [P].

樊澌 ;

贺兆波 ;

冯凯 ;

严凡 ;

叶瑞 .

中国专利 :CN120399691A ,2025-08-01

[5]

一种钼蚀刻液 [P].

冯凯 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

张庭 ;

苏张轩 .

中国专利 :CN119824421A ,2025-04-15

[6]

一种氧化铝和IGZO的选择性蚀刻液 [P].

贺兆波 ;

樊澌 ;

叶瑞 ;

姜飞 ;

张庭 ;

冯凯 ;

王书萍 ;

班昌胜 ;

严凡 .

中国专利 :CN117844484A ,2024-04-09

[7]

一种钼的磷酸基蚀刻液 [P].

苏张轩 ;

罗佳杨 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

姜飞 ;

张庭 ;

冯凯 ;

王书萍 ;

李素云 ;

樊澌 ;

班昌胜 ;

严凡 ;

李飞 ;

王宏博 .

中国专利 :CN119177450A ,2024-12-24

[8]

一种氮化铝和钨的选择性蚀刻液 [P].

班昌胜 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

姜飞 ;

张庭 ;

冯帆 ;

冯凯 ;

王书萍 ;

杜程 .

中国专利 :CN115011347A ,2022-09-06

[9]

一种选择性蚀刻液 [P].

叶瑞 ;

贺兆波 ;

冯凯 ;

崔会东 ;

王书萍 ;

班昌胜 ;

张庭 ;

严凡 ;

樊澌 .

中国专利 :CN117384642A ,2024-01-12

[10]

一种氧化硅高选择性蚀刻液 [P].

武昊冉 ;

张庭 ;

贺兆波 ;

李金航 ;

许真 ;

董攀飞 ;

李誉 ;

王巍 .

中国专利 :CN116240023B ,2025-04-22

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