研磨垫、研磨方法及研磨装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610129053.9

申请日：

2006-09-05

公开(公告)号：

CN101045290A

公开(公告)日：

2007-10-03

发明(设计)人：

中川泰忠小池荣二郎

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B24D1700

IPC分类号：

B24B2902 H01L21304

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

胡建新

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-10-03	公开	公开
2010-03-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

研磨垫及研磨装置 [P].

城邦恭 ;

本田智之 ;

花本深雪 .

中国专利 :CN101375375A ,2009-02-25

[2]

研磨垫及研磨装置 [P].

杨一凡 .

中国专利 :CN110744444B ,2020-02-04

[3]

研磨垫及研磨装置 [P].

山本一义 .

中国专利 :CN104105573A ,2014-10-15

[4]

研磨垫及研磨装置 [P].

中畑政臣 .

中国专利 :CN1943993A ,2007-04-11

[5]

研磨垫及使用了研磨垫的研磨装置 [P].

城山厚 ;

河内辰朗 .

中国专利 :CN102240966A ,2011-11-16

[6]

研磨垫、使用该研磨垫的研磨装置及研磨方法 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN103182676A ,2013-07-03

[7]

研磨垫、研磨装置及研磨垫的制造方法 [P].

冯崇智 ;

姚伊蓬 ;

洪永璋 ;

蔡坤成 .

中国专利 :CN103817590A ,2014-05-28

[8]

研磨垫、研磨装置及制造研磨垫的方法 [P].

冯崇智 ;

姚伊蓬 ;

洪永璋 ;

吴文杰 .

中国专利 :CN104552034A ,2015-04-29

[9]

研磨垫、研磨装置及制造研磨垫的方法 [P].

冯崇智 ;

姚伊蓬 ;

洪永璋 ;

刘玮得 ;

王俊达 .

中国专利 :CN104786137A ,2015-07-22

[10]

研磨垫、研磨装置及制造研磨垫的方法 [P].

冯崇智 ;

姚伊蓬 ;

洪永璋 ;

宋品贤 ;

陈晋纬 ;

吴文杰 .

中国专利 :CN107866732A ,2018-04-03

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