氮化膜的制造装置及其制造方法、以及其制造程序

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280038970.X

申请日：

2012-05-22

公开(公告)号：

CN103748668B

公开(公告)日：

2014-04-23

发明(设计)人：

村上彰一畑下晶保

申请人：

申请人地址：

日本国东京都千代田区大手町1丁目3番2号经团连会馆15楼

IPC主分类号：

H01L21318

IPC分类号：

C23C1634 C23C16505 C23C1652

代理机构：

北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279

代理人：

王正茂;丛芳

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-23	公开	公开
2016-10-19	授权	授权
2014-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583882926 IPC(主分类):H01L 21/318 专利申请号:201280038970X 申请日:20120522

共 50 条

[1]

氮化硅膜及其制造方法与其制造装置 [P].

村上彰一 ;

畑下晶保 ;

高洋志 ;

山胁正也 .

中国专利 :CN105765705B ,2016-07-13

[2]

氮化膜的制造方法 [P].

柳东浩 ;

金颍俊 ;

金盈孝 .

中国专利 :CN106548923A ,2017-03-29

[3]

制造方法、制造装置以及程序 [P].

福西孝章 ;

西川慎哉 .

美国专利 :CN119343608A ,2025-01-21

[4]

层叠膜的制造方法及其制造装置 [P].

篠崎贵博 ;

小坂明世 ;

菅野敏广 .

日本专利 :CN119348274A ,2025-01-24

[5]

玻璃膜的制造方法及其制造装置 [P].

八木直彦 ;

泷本博司 .

中国专利 :CN114728831A ,2022-07-08

[6]

膜产品的制造方法及其制造装置 [P].

宗本顺二 ;

松原史直 .

中国专利 :CN113490632A ,2021-10-08

[7]

处理膜的制造方法及其制造装置 [P].

山本悟 ;

石神文广 .

中国专利 :CN103718071A ,2014-04-09

[8]

处理膜的制造方法及其制造装置 [P].

秦和也 ;

平田聪 ;

望月政和 ;

近藤诚司 .

中国专利 :CN103688200A ,2014-03-26

[9]

印刷膜的制造方法及其制造装置 [P].

小原泰裕 ;

小林真太郎 ;

殷兴龙 .

日本专利 :CN120171198A ,2025-06-20

[10]

玻璃膜的制造方法及其制造装置 [P].

八木直彦 ;

泷本博司 .

日本专利 :CN114728831B ,2024-11-19

← 1 2 3 4 5 →