微机电装置及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110082536.9

申请日：

2011-04-01

公开(公告)号：

CN102180441A

公开(公告)日：

2011-09-14

发明(设计)人：

毛剑宏唐德明

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室

IPC主分类号：

B81C300

IPC分类号：

B81B700

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101731232105 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2011100825369 登记生效日:20160331 变更事项:专利权人变更前权利人:上海丽恒光微电子科技有限公司变更后权利人:西安宜升光电科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室变更后权利人:710075 陕西省西安市高新区新型工业园西部大道60号圆弧楼204室
2011-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101127327710 IPC(主分类):B81C 3/00 专利申请号:2011100825369 申请日:20110401
2012-12-19	授权	授权
2011-09-14	公开	公开

共 50 条

[1]

惯性微机电传感器及其制作方法 [P].

毛剑宏 ;

唐德明 .

中国专利 :CN102530832B ,2012-07-04

[2]

微机电系统开关的制作方法和微机电器件及其制作方法 [P].

周嘉兴 .

中国专利 :CN101018734A ,2007-08-15

[3]

微机电装置与制作方法 [P].

蔡明翰 .

中国专利 :CN103796148B ,2014-05-14

[4]

微机电器件的制作方法、及微机电器件 [P].

王春 ;

徐琦 .

中国专利 :CN118083904A ,2024-05-28

[5]

微机电装置及其制造方法 [P].

毛剑宏 ;

韩凤芹 ;

唐德明 .

中国专利 :CN102275857B ,2011-12-14

[6]

具多重电极的微机电装置及其制作方法 [P].

许郁文 ;

郭秦辅 ;

黄肇达 ;

毛俊凯 ;

王钦宏 .

中国专利 :CN103879949A ,2014-06-25

[7]

微机电装置及其应用 [P].

贝恩德·伯查德 ;

迈克尔·德勒 ;

周宁宁 .

中国专利 :CN102947216B ,2013-02-27

[8]

微机电器件空腔结构的制作方法、及微机电器件 [P].

范坤 ;

卜德冲 ;

郭大飞 ;

王鹏 .

中国专利 :CN117658056A ,2024-03-08

[9]

微机电系统压力传感器及其制作方法 [P].

刘蓓 .

中国专利 :CN101450786B ,2009-06-10

[10]

具多重气密空腔的微机电装置及其制作方法 [P].

苏中源 ;

郭秦辅 ;

李宗璟 ;

黄肇达 .

中国专利 :CN105776122A ,2016-07-20

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